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高純氣體管道輸送管道，要根據(jù)工藝過程對氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求不同，采用相應(yīng)質(zhì)量的管材。比如半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)因其生產(chǎn)工藝復(fù)雜、加工精細(xì)，它不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境，而且對生產(chǎn)過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴(yán)格的要求，從微米技術(shù)進(jìn)入亞微米、深亞微...

在集成電路芯片制造中，大宗特氣系統(tǒng)的復(fù)雜性與代表性尤為突出。由于制程節(jié)點(diǎn)不斷微縮，工藝步驟繁多，所需氣體種類涵蓋氮?dú)狻錃?、氧氣、氬氣以及特種氣體如硅烷、氨氣、六氟化鎢等數(shù)十種。這些氣體不僅用量巨大，其純度通常需達(dá)到99.999%乃至更高，任何細(xì)微污染都可能導(dǎo)...

大宗特氣系統(tǒng)的自動(dòng)控制與監(jiān)控系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)精細(xì)供應(yīng)與安全保障的重要支撐。該系統(tǒng)通過各類傳感器實(shí)時(shí)采集氣體的壓力、流量、純度、溫度等關(guān)鍵參數(shù)，并將數(shù)據(jù)傳輸至控制系統(tǒng)?？刂葡到y(tǒng)根據(jù)預(yù)設(shè)的參數(shù)范圍，對閥門、泵等設(shè)備進(jìn)行自動(dòng)調(diào)控，確保氣體供應(yīng)的壓力與流量穩(wěn)定。同時(shí)，監(jiān)控系...

我們是一支專業(yè)的團(tuán)隊(duì)。我們的成員擁有多年的管路工藝及安裝技術(shù)背景，多來自國內(nèi)公司的骨干。我們是一支年輕的團(tuán)隊(duì)。我們的平均年齡只有30歲，充滿了朝氣和創(chuàng)新精神。我們是一支專注的團(tuán)隊(duì)。我們堅(jiān)信，安全的工藝品質(zhì)源自客戶的信任。只有專注，才能做好安全。我們是一支有...

大宗特氣系統(tǒng)是半導(dǎo)體制造工廠的主要支撐體系之一，直接關(guān)系到全廠生產(chǎn)的連續(xù)性與產(chǎn)品良率。該系統(tǒng)專為集成電路芯片制造等高精度工藝設(shè)計(jì)，能夠在氣柜存儲基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)大規(guī)模、高純度的氣體穩(wěn)定輸送。相比傳統(tǒng)供氣方式，大宗特氣系統(tǒng)具備更嚴(yán)苛的品質(zhì)控制能力，可適應(yīng)半導(dǎo)體生產(chǎn)中對...

特氣管道系統(tǒng)特點(diǎn)特氣系統(tǒng)中的每臺設(shè)備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作，帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報(bào)警，并可擴(kuò)展地震監(jiān)控報(bào)警;單臺設(shè)備可以獨(dú)成系統(tǒng)單獨(dú)運(yùn)轉(zhuǎn)，也可多臺設(shè)備用PLC或TGO連起來組成大系統(tǒng)，在監(jiān)控中心統(tǒng)一監(jiān)控管理，其報(bào)警系統(tǒng)還可以與安監(jiān)系統(tǒng)、消防...

管路中應(yīng)減少不流動(dòng)氣體的“死空間”，不應(yīng)設(shè)有盲管，在特種氣體的儲氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門控制裝置、用以控制各個(gè)閥門的開關(guān)順序、系統(tǒng)吹除，以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運(yùn)行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物，降低氣體純度。對高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)...

在集成電路芯片制造中，大宗特氣系統(tǒng)的復(fù)雜性與代表性尤為突出。由于制程節(jié)點(diǎn)不斷微縮，工藝步驟繁多，所需氣體種類涵蓋氮?dú)?、氫氣、氧氣、氬氣以及特種氣體如硅烷、氨氣、六氟化鎢等數(shù)十種。這些氣體不僅用量巨大，其純度通常需達(dá)到99.999%乃至更高，任何細(xì)微污染都可能導(dǎo)...

廢氣處理特性半導(dǎo)體工藝中常使用的化學(xué)物質(zhì)及其副產(chǎn)物,一般依照其化學(xué)特性與其不同的影響范圍,可分為:1.易燃性氣體如SiH4、H2等2.毒性氣體如AsH3、PH3等3.腐蝕性氣體如HF、HCl等4.溫室效應(yīng)氣體如CF4、NF3等。由于以上四種氣體對環(huán)境或人體皆具...

大宗特氣系統(tǒng)的氣體存儲環(huán)節(jié)是保障持續(xù)供應(yīng)的基礎(chǔ)。系統(tǒng)通常采用高壓氣瓶組、低溫儲罐等多種存儲方式，根據(jù)氣體的物理性質(zhì)與用量需求進(jìn)行選擇。對于用量較大的大宗氣體，如氮?dú)狻⒀鯕獾龋嗖捎玫蜏貎薮鎯Γ軌蛴行Ы档痛鎯Τ杀荆瑫r(shí)滿足大流量供應(yīng)需求；對于特種氣體，則多采...

實(shí)驗(yàn)室氣體報(bào)警:一個(gè)現(xiàn)代化的實(shí)驗(yàn)室，安全必須放在前面。由于氣瓶全部是集中存放，方便用戶集中檢查，節(jié)省成本和操作時(shí)間的同時(shí)，也當(dāng)然存在安全隱患，但如果預(yù)警措施、安全措施到位的話，危險(xiǎn)是可以避免的!為用戶節(jié)省些不必要的損失：易燃?xì)怏w報(bào)警：如果氣瓶是集中存放的話，可...

儲存設(shè)備作為特氣管道系統(tǒng)的氣源主，是保障氣體穩(wěn)定供應(yīng)的基礎(chǔ)環(huán)節(jié)，其主要設(shè)備為特氣柜（GC）。特氣柜的設(shè)計(jì)需具備多重安全防護(hù)功能，包括氣體泄漏檢測、自動(dòng)緊急切斷、壓力監(jiān)控與調(diào)節(jié)等，能夠?qū)Υ孢^程中的風(fēng)險(xiǎn)進(jìn)行實(shí)時(shí)預(yù)警與處置。針對不同特性的特種氣體，特氣柜還需進(jìn)行個(gè)...

特氣管道系統(tǒng)特點(diǎn)特氣系統(tǒng)中的每臺設(shè)備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作，帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報(bào)警，并可擴(kuò)展地震監(jiān)控報(bào)警;單臺設(shè)備可以獨(dú)成系統(tǒng)單獨(dú)運(yùn)轉(zhuǎn)，也可多臺設(shè)備用PLC或TGO連起來組成大系統(tǒng)，在監(jiān)控中心統(tǒng)一監(jiān)控管理，其報(bào)警系統(tǒng)還可以與安監(jiān)系統(tǒng)、消防...

安全性設(shè)計(jì)滲透于系統(tǒng)的每一個(gè)細(xì)節(jié)。除了雙套管，管道閥門均采用隔膜閥或超高密封性閥件，接頭為焊接或特殊金屬面密封。所有可能接觸氣體的部件，均需選用與氣體兼容的高等級不銹鋼或特殊合金，并經(jīng)過電拋光、鈍化等處理，以比較大限度減少出氣、吸附和顆粒產(chǎn)生，同時(shí)抵抗腐蝕。安...

大宗特氣系統(tǒng)的技術(shù)基礎(chǔ)源于大型氣柜存儲與分配技術(shù)的升級，其主要目標(biāo)在于實(shí)現(xiàn)超大規(guī)模流量下的不間斷供應(yīng)。系統(tǒng)通常包含低溫儲罐、汽化器、減壓裝置、管網(wǎng)及控制系統(tǒng)等部分，通過智能化調(diào)度與多路徑冗余設(shè)計(jì)，確保即使在某一環(huán)節(jié)故障時(shí)也能持續(xù)供氣。這種設(shè)計(jì)大幅降低了因氣體短...

我們是一支專業(yè)的團(tuán)隊(duì)。我們的成員擁有多年的管路工藝及安裝技術(shù)背景，多來自國內(nèi)公司的骨干。我們是一支年輕的團(tuán)隊(duì)。我們的平均年齡只有30歲，充滿了朝氣和創(chuàng)新精神。我們是一支專注的團(tuán)隊(duì)。我們堅(jiān)信，安全的工藝品質(zhì)源自客戶的信任。只有專注，才能做好安全。我們是一支有...

特氣管道系統(tǒng)是指SiH4，NF3，Cl2易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高(超過99.999%)的一些具有高危險(xiǎn)性，應(yīng)確保安全性的特氣儲存、輸送與分配過程的設(shè)備、管道和部件的總稱，特氣系統(tǒng)工程是用于實(shí)現(xiàn)特氣系統(tǒng)安全使用的工程。公司提供從供氣...

特氣管道系統(tǒng)的主要價(jià)值在于實(shí)現(xiàn)高危特種氣體的全流程安全管控，其設(shè)計(jì)需充分適配不同氣體的物理化學(xué)特性。對于SiH?這類易燃易爆氣體，系統(tǒng)需強(qiáng)化防爆泄壓設(shè)計(jì)；針對Cl?等腐蝕性氣體，需選用耐腐性極強(qiáng)的管道與設(shè)備材質(zhì)；而超高純氣體的輸送則對管道潔凈度、密封性提出要求...

大宗特氣系統(tǒng)的氣體存儲環(huán)節(jié)是保障持續(xù)供應(yīng)的基礎(chǔ)。系統(tǒng)通常采用高壓氣瓶組、低溫儲罐等多種存儲方式，根據(jù)氣體的物理性質(zhì)與用量需求進(jìn)行選擇。對于用量較大的大宗氣體，如氮?dú)?、氧氣等，多采用低溫儲罐存儲，能夠有效降低存儲成本，同時(shí)滿足大流量供應(yīng)需求；對于特種氣體，則多采...

上海杰瑞斯特機(jī)電工程技術(shù)有限公司是一家專業(yè)從事高純度供應(yīng)系統(tǒng)工程的企業(yè)，致力于為先進(jìn)制造業(yè)的高科技企業(yè)提供高純工藝系統(tǒng)的一體化解決方案，為客戶提供大宗氣體系統(tǒng)、電子特氣系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)、工業(yè)集中供氣系統(tǒng)、潔凈氣體管道、Local Scrubber尾氣處理系...

特氣管道系統(tǒng)是指SiH4，NF3，Cl2易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高(超過99.999%)的一些具有高危險(xiǎn)性，應(yīng)確保安全性的特氣儲存、輸送與分配過程的設(shè)備、管道和部件的總稱，特氣系統(tǒng)工程是用于實(shí)現(xiàn)特氣系統(tǒng)安全使用的工程。公司提供從供氣...

實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)操作原理:實(shí)驗(yàn)室供氣有二級減壓和多級減壓，二級減壓即氣瓶端采用一級減壓閥和末端采用一級減壓閥來達(dá)到二級減壓的目的。實(shí)驗(yàn)室一般推薦采用二級減壓，這樣可以保證氣體的純度和節(jié)約成本，也能達(dá)到多級減壓的效果(推薦)多級減壓即氣瓶端采用二級減壓閥或多級...

尾氣處理系統(tǒng)：半導(dǎo)體工藝廢氣處理方式依據(jù)廢氣處理的特性,在處理可分為四種處理方式:1、水洗式(處理腐蝕性氣體)2、氧化式(處理燃燒性,毒性氣體3、吸附式(干式)(依照吸附材種類處理對應(yīng)之廢氣）4、等離子燃燒式(各類型廢氣皆可處理)Scrubber尾氣處理裝置可...

大宗特氣系統(tǒng)是半導(dǎo)體制造工廠的主要支撐體系之一，直接關(guān)系到全廠生產(chǎn)的連續(xù)性與產(chǎn)品良率。該系統(tǒng)專為集成電路芯片制造等高精度工藝設(shè)計(jì)，能夠在氣柜存儲基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)大規(guī)模、高純度的氣體穩(wěn)定輸送。相比傳統(tǒng)供氣方式，大宗特氣系統(tǒng)具備更嚴(yán)苛的品質(zhì)控制能力，可適應(yīng)半導(dǎo)體生產(chǎn)中對...

實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)，是現(xiàn)在一種普遍被采用的供氣方式，它主要是由氣源，切換裝置，調(diào)壓裝置，終端用氣點(diǎn)，監(jiān)控及報(bào)警裝置組成。簡單來說，實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)就是將所有氣瓶集中存放在氣瓶房，通過氣瓶減壓閥將氣體輸送到各個(gè)實(shí)驗(yàn)室（即儀器端）的系統(tǒng)。實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)操作原理:...

高純氣體管道是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，是將符合要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵，包括系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗(yàn)測試等內(nèi)容。近年來以大規(guī)模集成電路為主的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴(yán)格的要求，使高純氣體的配...

高純氣體管道是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，是將符合要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵，包括系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗(yàn)測試等內(nèi)容。近年來以大規(guī)模集成電路為主的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴(yán)格的要求，使高純氣體的配...

系統(tǒng)特色為使GDS系統(tǒng)具有高可靠性，在系統(tǒng)設(shè)計(jì)上，應(yīng)遵循技術(shù)先進(jìn)、運(yùn)行可靠、功能豐富、使用方便、易于維護(hù)、合理投資的原則，對系統(tǒng)進(jìn)行整體設(shè)計(jì)和實(shí)施。先進(jìn)性：采用先進(jìn)的設(shè)計(jì)思想和設(shè)備，充分利用現(xiàn)有高新技術(shù)，系統(tǒng)達(dá)到國內(nèi)先進(jìn)水平。成熟性：采用成熟的技術(shù)、品牌及型號...

大宗特氣系統(tǒng)的國產(chǎn)化進(jìn)程正在不斷加速。過去，我國半導(dǎo)體行業(yè)的大宗特氣系統(tǒng)主要設(shè)備與技術(shù)多依賴進(jìn)口，不僅成本高昂，而且在技術(shù)服務(wù)與備件供應(yīng)方面存在諸多不便。近年來，隨著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展與國家對主要技術(shù)自主可控的重視，國內(nèi)企業(yè)加大了對大宗特氣系統(tǒng)相關(guān)技術(shù)的...

系統(tǒng)特色為使GDS系統(tǒng)具有高可靠性，在系統(tǒng)設(shè)計(jì)上，應(yīng)遵循技術(shù)先進(jìn)、運(yùn)行可靠、功能豐富、使用方便、易于維護(hù)、合理投資的原則，對系統(tǒng)進(jìn)行整體設(shè)計(jì)和實(shí)施。先進(jìn)性：采用先進(jìn)的設(shè)計(jì)思想和設(shè)備，充分利用現(xiàn)有高新技術(shù)，系統(tǒng)達(dá)到國內(nèi)先進(jìn)水平。成熟性：采用成熟的技術(shù)、品牌及型號...