管路中應(yīng)減少不流動氣體的“死空間”,不應(yīng)設(shè)有盲管,在特種氣體的儲氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門控制裝置、用以控制各個閥門的開關(guān)順序、系統(tǒng)吹除,以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物,降低氣體純度。對高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備,宜采用分等級高純氣體輸送系統(tǒng);也可采用同等級輸送系統(tǒng),但是在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)末端氣體提純裝置。為了檢測高純氣體的純度和雜質(zhì)含量,輸送系統(tǒng)除了設(shè)置必要的連續(xù)檢測儀器,如衡量水含量或者氧雜質(zhì)含量等分析儀外,還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測采樣口,以便按規(guī)定時間進行采樣,分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。尾氣處理Local Scrubber通常安裝在工藝設(shè)備附近,進行就地高效處理。上海Local Scrubber尾氣處理系統(tǒng)價格

工業(yè)集中供氣系統(tǒng)是一種現(xiàn)代化集中供氣,這種現(xiàn)代化的供氣方法得到了社會普遍認可,它是一種將氣源通過管路設(shè)計集中匯流到用氣點的現(xiàn)代化供氣設(shè)計;這種集中供氣方式很大地提高了效益,降低了人力資源的消耗并且安全美觀,氣體輸出更加的穩(wěn)定流暢;適用于氧氣、氬氣、二氧化碳、氫氣、乙炔、丙烷、液化石油氣等各種氣體的輸送。這種集中供氣與傳統(tǒng)氣瓶供氣方式相比具有相當(dāng)大的優(yōu)勢。主要組成由氣源,匯流裝置,配比裝置,切換裝置,調(diào)壓裝置,終端用起點,監(jiān)控及報警裝置等組成江蘇實驗室氣路系統(tǒng)多少錢將安全基因融入設(shè)計,構(gòu)建多重防護保障氣體使用安全。

上海杰瑞斯特機電工程技術(shù)有限公司是一家專業(yè)從事高純度供應(yīng)系統(tǒng)工程的企業(yè),致力于為先進制造業(yè)的高科技企業(yè)提供高純工藝系統(tǒng)的一體化解決方案,為客戶提供大宗氣體系統(tǒng)、電子特氣系統(tǒng)、實驗室氣路系統(tǒng)、工業(yè)集中供氣系統(tǒng)、潔凈氣體管道、Local Scrubber尾氣處理系統(tǒng)及機電工程安裝等工程項目設(shè)計安裝交鑰匙式高性能和高質(zhì)量的解決方案。工程項目覆蓋半導(dǎo)體、集成電路、光電、新能源、微電子、光纖、生物醫(yī)藥、科研所、標準檢測、高校院校等高技術(shù)領(lǐng)域行業(yè)。
不同類型的半導(dǎo)體芯片生產(chǎn),對大宗特氣系統(tǒng)的配置需求存在明顯差異。例如,邏輯芯片制造過程中,蝕刻工藝需大量使用含氟特氣,系統(tǒng)需重點強化氟化物氣體的安全防護與腐蝕控制;存儲芯片生產(chǎn)則對沉積工藝用氣體的純度要求更高,需配備更精密的純化系統(tǒng)。因此,大宗特氣系統(tǒng)在設(shè)計之初,需充分結(jié)合具體的芯片生產(chǎn)工藝需求,進行個性化配置。通過與芯片制造企業(yè)深入溝通,明確各類氣體的種類、純度、流量等參數(shù)要求,從而設(shè)計出符合生產(chǎn)實際需求的系統(tǒng)方案,確保系統(tǒng)能夠精細匹配生產(chǎn)工藝,發(fā)揮比較好支撐作用。 杰瑞斯特機電以專業(yè)技術(shù)和豐富經(jīng)驗,成為企業(yè)值得信賴的合作伙伴。

尾氣處理系統(tǒng):半導(dǎo)體工藝廢氣處理方式依據(jù)廢氣處理的特性,在處理可分為四種處理方式:1、水洗式(處理腐蝕性氣體)2、氧化式(處理燃燒性,毒性氣體3、吸附式(干式)(依照吸附材種類處理對應(yīng)之廢氣)4、等離子燃燒式(各類型廢氣皆可處理)Scrubber尾氣處理裝置可處理的氣體種類包括半導(dǎo)體、液晶以及太陽能等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中使用的特氣,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。公司提供從設(shè)計、安裝到調(diào)試的機電工程安裝交鑰匙服務(wù),確保項目完整交付。甘肅潔凈氣體管道系統(tǒng)廠家
工程項目覆蓋集成電路領(lǐng)域,助力中國芯制造突破升級。上海Local Scrubber尾氣處理系統(tǒng)價格
特氣管道系統(tǒng)是保障高危險性特種氣體安全應(yīng)用的主要載體,其涵蓋SiH?、NF?、Cl?等易燃易爆、有毒、腐蝕性氣體,以及純度超99.999%的超高純氣體的儲存、輸送與分配全流程,由各類專業(yè)設(shè)備、管道及部件共同構(gòu)成。由于涉及氣體的高危特性,安全性是該系統(tǒng)設(shè)計與運行的首要準則。與之配套的特氣系統(tǒng)工程,則通過系統(tǒng)性的技術(shù)方案與實施流程,為特氣管道系統(tǒng)的安全、穩(wěn)定使用提供全方面保障,是特種氣體在工業(yè)生產(chǎn)中合規(guī)應(yīng)用的重要支撐。上海Local Scrubber尾氣處理系統(tǒng)價格
上海杰瑞斯特機電工程技術(shù)有限公司是一家有著雄厚實力背景、信譽可靠、勵精圖治、展望未來、有夢想有目標,有組織有體系的公司,堅持于帶領(lǐng)員工在未來的道路上大放光明,攜手共畫藍圖,在上海市等地區(qū)的建筑、建材行業(yè)中積累了大批忠誠的客戶粉絲源,也收獲了良好的用戶口碑,為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ),也希望未來公司能成為*****,努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻出自己的一份力量,我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強不息,斗志昂揚的的企業(yè)精神將**上海杰瑞斯特機電工程技術(shù)供應(yīng)和您一起攜手步入輝煌,共創(chuàng)佳績,一直以來,公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠實守信的方針,員工精誠努力,協(xié)同奮取,以品質(zhì)、服務(wù)來贏得市場,我們一直在路上!