特氣管道系統(tǒng)是指SiH4，NF3，Cl2易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高(超過99.999%)的一些具有高危險(xiǎn)性，應(yīng)確保安全性的特氣儲(chǔ)存、輸送與分配過程的設(shè)備、管道和部件的總稱，特氣系統(tǒng)工程是用于實(shí)現(xiàn)特氣系統(tǒng)安全使用的工程。公司提供從供氣系統(tǒng);排氣處理、監(jiān)視系統(tǒng)的綜合管理系統(tǒng);建立以安全為首的特氣管理輸送系統(tǒng)。提供設(shè)計(jì)、選型、制造、安裝、測(cè)試、調(diào)試和系統(tǒng)托管服務(wù)等整體解決方案。特氣管道系統(tǒng)由儲(chǔ)存、輸送、分配、控制四類設(shè)備組成。其中“存儲(chǔ)”指氣源部分(特氣柜GC)，“輸送”指配管部分(一般用雙套管)，“分配”指二次配部分(氣體分配柜VMB)，“控制”指監(jiān)督控制部分(氣體管理系統(tǒng)GMS)。機(jī)電工程安裝經(jīng)驗(yàn)豐富，確保各系統(tǒng)集成穩(wěn)定與協(xié)調(diào)。遼寧大宗特氣系統(tǒng)價(jià)格

高純氣體管道的設(shè)計(jì)要點(diǎn)：1.對(duì)于不同特性的氣體，要規(guī)劃單獨(dú)的供應(yīng)區(qū)域，一般分為三個(gè)區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。2.管道設(shè)計(jì)需要考慮輸送的距離，距離越長(zhǎng)，成本越高，風(fēng)險(xiǎn)也越高，通常較合理的設(shè)計(jì)流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量設(shè)計(jì)方面，則需要考慮使用點(diǎn)的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關(guān)，后者使用點(diǎn)的管徑一般為1/4”～3/8”。河北電子特氣管道系統(tǒng)廠家工程項(xiàng)目覆蓋集成電路領(lǐng)域，助力中國(guó)芯制造突破升級(jí)。

可燃/有毒氣體探測(cè)器負(fù)責(zé)對(duì)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的各種氣體的檢測(cè)，并將采集的氣體濃度轉(zhuǎn)換成模擬信號(hào)。數(shù)據(jù)采集模塊將采集到的信號(hào)，以串行通訊的方式傳送至GDS控制單元上，GDS控制單元根據(jù)檢測(cè)值分別與各自的報(bào)警上/下限進(jìn)行比較，當(dāng)某個(gè)探測(cè)器檢測(cè)到的濃度超過上限或低于下限時(shí)，GDS控制單元通過DO模塊輸出報(bào)警信號(hào)，開啟聲光報(bào)警器并開啟或關(guān)閉相關(guān)設(shè)備。操作人員可以通過工控機(jī)的觸摸屏、操作員站和工程師站等人機(jī)交互界面，實(shí)時(shí)監(jiān)視廠區(qū)內(nèi)所有檢測(cè)點(diǎn)的情況，主要有氣體濃度值，報(bào)警上限，實(shí)時(shí)曲線和歷史數(shù)據(jù)等。當(dāng)發(fā)生報(bào)警時(shí)也可以通過工控機(jī)進(jìn)行消音和報(bào)警響應(yīng)。

集中供氣的優(yōu)點(diǎn)1、配有專門的控制設(shè)備，以排除每次更換氣瓶時(shí)引入的雜質(zhì)，確保管路氣體終端的純度。2、不間斷氣體供應(yīng)；氣體控制系統(tǒng)可以手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行切換，以保證氣體連續(xù)供給。3、氣體壓力穩(wěn)定；系統(tǒng)采用集中降壓，亦可采用兩級(jí)減壓方式供氣，供氣更加穩(wěn)定流暢。4、高效益；通過供氣控制系統(tǒng)可以充分使用氣體，減少殘余的氣體，更科學(xué)更穩(wěn)定更安全可以很大地降低成本，避免安全隱患。5、操作簡(jiǎn)單安全；所有氣源集中在同一地方便于管理，管路設(shè)計(jì)科學(xué)方便用氣輸出，很大地降低勞動(dòng)強(qiáng)度。高?；瘜W(xué)、材料實(shí)驗(yàn)室通過我們的集中供氣，實(shí)現(xiàn)了氣瓶管理的規(guī)范化。

對(duì)高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備，宜采用分等級(jí)高純氣體輸送系統(tǒng)；也可采用同等級(jí)輸送系統(tǒng)，但是在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)末端氣體提純裝置。為了檢測(cè)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量，輸送系統(tǒng)除了設(shè)置必要的連續(xù)檢測(cè)儀器，如衡量水含量或者氧雜質(zhì)含量等分析儀外，還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測(cè)采樣口，以便按規(guī)定時(shí)間進(jìn)行采樣，分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。在亞微米級(jí)的集成電路生產(chǎn)中，要求供應(yīng)10－9級(jí)的高純氣體，為了確保末端用氣工藝設(shè)備處的氣體純度，使氣體中的雜質(zhì)含量（包括塵粒）控制在規(guī)定的數(shù)值內(nèi)，一般在設(shè)備前設(shè)置末端純化裝置，或末端高精度氣體過濾器。面對(duì)復(fù)雜的供氣挑戰(zhàn)，我們總能提供清晰高效的解決路徑。江蘇實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)

尾氣處理Local Scrubber通常安裝在工藝設(shè)備附近，進(jìn)行就地高效處理。遼寧大宗特氣系統(tǒng)價(jià)格

廢氣處理特性半導(dǎo)體工藝中常使用的化學(xué)物質(zhì)及其副產(chǎn)物,一般依照其化學(xué)特性與其不同的影響范圍,可分為:1.易燃性氣體如SiH4、H2等2.毒性氣體如AsH3、PH3等3.腐蝕性氣體如HF、HCl等4.溫室效應(yīng)氣體如CF4、NF3等。由于以上四種氣體對(duì)環(huán)境或人體皆具有一定的危害性,必須防止其直接排放大氣中,所以,一般半導(dǎo)體廠都以加裝大型廢氣處理系統(tǒng).但此系統(tǒng)以水洗滌廢氣.故其應(yīng)用范圍限于處理水溶性氣體,無(wú)法因應(yīng)日新月異且分工細(xì)微的半導(dǎo)體工藝廢氣.因此必須依據(jù)各工藝所衍生出的氣體特性種類,選擇搭配相對(duì)應(yīng)的廢氣處理設(shè)備,才能有效解決廢氣問題.而由于工作區(qū)域多半離廢氣處理系統(tǒng)前,常因氣體特性導(dǎo)致管路中結(jié)晶或粉塵堆積,造成管路堵塞后導(dǎo)致氣體泄漏,嚴(yán)重者甚至引起爆,無(wú)法確?，F(xiàn)場(chǎng)工作人員之工作安全.因此在工作區(qū)域需配置適合工藝氣體特性的小型廢氣處理設(shè)備(LocalScrubber),以減少在工作區(qū)域滯留的廢氣,確保人員安全。遼寧大宗特氣系統(tǒng)價(jià)格

上海杰瑞斯特機(jī)電工程技術(shù)有限公司是一家有著雄厚實(shí)力背景、信譽(yù)可靠、勵(lì)精圖治、展望未來(lái)、有夢(mèng)想有目標(biāo)，有組織有體系的公司，堅(jiān)持于帶領(lǐng)員工在未來(lái)的道路上大放光明，攜手共畫藍(lán)圖，在上海市等地區(qū)的建筑、建材行業(yè)中積累了大批忠誠(chéng)的客戶粉絲源，也收獲了良好的用戶口碑，為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ)，也希望未來(lái)公司能成為*****，努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻(xiàn)出自己的一份力量，我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強(qiáng)不息，斗志昂揚(yáng)的的企業(yè)精神將**上海杰瑞斯特機(jī)電工程技術(shù)供應(yīng)和您一起攜手步入輝煌，共創(chuàng)佳績(jī)，一直以來(lái)，公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠(chéng)實(shí)守信的方針，員工精誠(chéng)努力，協(xié)同奮取，以品質(zhì)、服務(wù)來(lái)贏得市場(chǎng)，我們一直在路上！