高純氣體管道是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，是將符合要求的高純氣體送至用氣點仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵，包括系統(tǒng)的設(shè)計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗測試等內(nèi)容。近年來以大規(guī)模集成電路為主的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴格的要求，使高純氣體的配管技術(shù)日益受到關(guān)注和重視。高純氣體管道輸送管道，要根據(jù)工藝過程對氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求不同，采用相應(yīng)質(zhì)量的管材。比如半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)因其生產(chǎn)工藝復(fù)雜、加工精細，它不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境，而且對生產(chǎn)過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴格的要求，從微米技術(shù)進入亞微米、深亞微米(小于0.35g.m)技術(shù)，對氣體中的雜質(zhì)含量、水含量要求極為嚴格，10-6(ppm級)已經(jīng)不能達到要求，需要達到10-9(ppb級)，甚至10-12(ppt級)。因此輸送管道本身的管道材料特性適應(yīng)高純、超高純氣體的要求成為必須。對輸送高純氣體管道而言，其影響氣體質(zhì)量的管道材料主要特性是氣體滲透性、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。尾氣處理Local Scrubber通常安裝在工藝設(shè)備附近，進行就地高效處理。江蘇電子特氣管道系統(tǒng)公司

尾氣處理系統(tǒng)：半導(dǎo)體工藝廢氣處理方式依據(jù)廢氣處理的特性,在處理可分為四種處理方式:1、水洗式(處理腐蝕性氣體)2、氧化式(處理燃燒性,毒性氣體3、吸附式(干式)(依照吸附材種類處理對應(yīng)之廢氣）4、等離子燃燒式(各類型廢氣皆可處理)Scrubber尾氣處理裝置可處理的氣體種類包括半導(dǎo)體、液晶以及太陽能等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中使用的特氣，主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。吉林電子特氣管道系統(tǒng)Local Scrubber尾氣處理專業(yè)高效，踐行環(huán)保與安全生產(chǎn)。

大宗特氣系統(tǒng)是半導(dǎo)體制造工廠的主要支撐體系之一，直接關(guān)系到全廠生產(chǎn)的連續(xù)性與產(chǎn)品良率。該系統(tǒng)專為集成電路芯片制造等高精度工藝設(shè)計，能夠在氣柜存儲基礎(chǔ)上實現(xiàn)大規(guī)模、高純度的氣體穩(wěn)定輸送。相比傳統(tǒng)供氣方式，大宗特氣系統(tǒng)具備更嚴苛的品質(zhì)控制能力，可適應(yīng)半導(dǎo)體生產(chǎn)中對氣體雜質(zhì)含量的極低要求，其供氣流量大、連續(xù)性強的特點，確保了光刻、薄膜沉積、蝕刻等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)不受氣體波動影響，從而保障芯片的性能與可靠性。

工業(yè)氣體按組份可分為單一品種氣體的工業(yè)純氣和二元或多元氣體的工業(yè)混合氣。國家標準《瓶裝壓縮氣體分類》(GB16163-1996)中，根據(jù)工業(yè)純氣在氣瓶內(nèi)的物理狀態(tài)和臨界溫度進行分類，并按其化學(xué)性能，燃燒性、毒性、腐蝕性進行分組。第1類為長久氣體，其臨界溫度〈-10℃，在充裝時以及在允許的工作溫度下儲運和使用過程中均為氣態(tài)，分為a、b兩組：a組為不燃無毒和不燃有毒氣體(包括氧、 氮、氬等)，b組為可燃無毒和可燃有毒氣體(包括氫等)。第2 類為液化氣體，其臨界溫度≥-10℃， 包括高壓液化氣體和低壓液化氣體。深耕生物醫(yī)藥領(lǐng)域，為制藥潔凈環(huán)境提供氣體保障。

集中供氣系統(tǒng)與氣瓶供氣相比的優(yōu)勢1、杜絕氣瓶留余壓的浪費，降低用氣成本。2、使用方便、操作簡單，減少頻繁換氣瓶的繁瑣勞動。3、液體密閉存儲，儲量大，質(zhì)量穩(wěn)定。4、排除了氣瓶在使用和保管過程中的易發(fā)生的碰撞、氣帶磨損、安全間距等危險性。

工業(yè)集中供氣系統(tǒng)是一種現(xiàn)代化集中供氣，這種現(xiàn)代化的供氣方法得到了社會普遍認可，它是一種將氣源通過管路設(shè)計集中匯流到用氣點的現(xiàn)代化供氣設(shè)計；這種集中供氣方式很大地提高了效益，降低了人力資源的消耗并且安全美觀，氣體輸出更加的穩(wěn)定流暢；適用于氧氣、氬氣、二氧化碳、氫氣、乙炔、丙烷、液化石油氣等各種氣體的輸送。這種集中供氣與傳統(tǒng)氣瓶供氣方式相比具有相當(dāng)大的優(yōu)勢。 電子特氣系統(tǒng)解決方案，精確滿足精密制造的特殊需求。吉林電子特氣管道系統(tǒng)

微電子行業(yè)對痕量雜質(zhì)極其敏感，我們的系統(tǒng)能實現(xiàn)氣體的超純輸送。江蘇電子特氣管道系統(tǒng)公司

根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況，高純氣體的管網(wǎng)不宜過大或者過長；宜采用不封閉的環(huán)形管路，在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體，以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通，不會發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。管路中應(yīng)減少不流動氣體的“死空間”，不應(yīng)設(shè)有盲管，在特種氣體的儲氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門控制裝置、用以控制各個閥門的開關(guān)順序、系統(tǒng)吹除，以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物，降低氣體純度。江蘇電子特氣管道系統(tǒng)公司

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