實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)操作原理:實(shí)驗(yàn)室供氣有二級(jí)減壓和多級(jí)減壓，二級(jí)減壓即氣瓶端采用一級(jí)減壓閥和末端采用一級(jí)減壓閥來(lái)達(dá)到二級(jí)減壓的目的。實(shí)驗(yàn)室一般推薦采用二級(jí)減壓，這樣可以保證氣體的純度和節(jié)約成本，也能達(dá)到多級(jí)減壓的效果(推薦)多級(jí)減壓即氣瓶端采用二級(jí)減壓閥或多級(jí)減壓閥和末端采用二級(jí)減壓閥或多級(jí)減壓閥來(lái)達(dá)到多級(jí)減壓的目的。減壓效果同二級(jí)減壓效果差不多，但成本會(huì)更高;實(shí)驗(yàn)室氣體報(bào)警:一個(gè)現(xiàn)代化的實(shí)驗(yàn)室，安全必須放在前面。由于氣瓶全部是集中存放，方便用戶集中檢查，節(jié)省成本和操作時(shí)間的同時(shí)，也當(dāng)然存在安全隱患，但如果預(yù)警措施、安全措施到位的話，危險(xiǎn)是可以避免的!為用戶節(jié)省些不必要的損失交鑰匙式工程服務(wù)，從設(shè)計(jì)到投產(chǎn)全程負(fù)責(zé)，讓您省心。遼寧高純氣體管道系統(tǒng)公司

面對(duì)種類繁多的特氣，系統(tǒng)的材質(zhì)選擇與設(shè)計(jì)需“量氣而定”。對(duì)于腐蝕性極強(qiáng)的氣體如Cl2、HCl，需選用耐蝕的哈氏合金；對(duì)于易自燃的SiH4，系統(tǒng)需徹底排除空氣，并配備自燃抑制劑或緊急排放燃燒裝置；對(duì)于毒性氣體如砷烷、磷烷，其雙套管負(fù)壓要求更高，排氣必須接入專門用的廢氣處理系統(tǒng)（Scrubber）進(jìn)行無(wú)害化處理。系統(tǒng)的工程建設(shè)是一項(xiàng)高度專業(yè)化的任務(wù)。從初期根據(jù)工廠布局和工藝需求進(jìn)行三維布線設(shè)計(jì)，到選擇符合SEMI、ASME等國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的部件，再到在潔凈室環(huán)境內(nèi)由持證人員進(jìn)行精密安裝，每一環(huán)節(jié)都需遵循嚴(yán)格的作業(yè)規(guī)范?？⒐ず螅仨毻ㄟ^(guò)壓力測(cè)試、氦質(zhì)譜檢漏測(cè)試、顆粒測(cè)試及氣體純度驗(yàn)證等一系列嚴(yán)苛驗(yàn)收，方可投入運(yùn)行。江蘇實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)模塊化設(shè)計(jì)理念，便于系統(tǒng)未來(lái)擴(kuò)容與升級(jí)改造。

特氣管道系統(tǒng)是指SiH4，NF3，Cl2易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高(超過(guò)99.999%)的一些具有高危險(xiǎn)性，應(yīng)確保安全性的特氣儲(chǔ)存、輸送與分配過(guò)程的設(shè)備、管道和部件的總稱，特氣系統(tǒng)工程是用于實(shí)現(xiàn)特氣系統(tǒng)安全使用的工程。公司提供從供氣系統(tǒng);排氣處理、監(jiān)視系統(tǒng)的綜合管理系統(tǒng);建立以安全為首的特氣管理輸送系統(tǒng)。提供設(shè)計(jì)、選型、制造、安裝、測(cè)試、調(diào)試和系統(tǒng)托管服務(wù)等整體解決方案。特氣管道系統(tǒng)由儲(chǔ)存、輸送、分配、控制四類設(shè)備組成。其中“存儲(chǔ)”指氣源部分(特氣柜GC)，“輸送”指配管部分(一般用雙套管)，“分配”指二次配部分(氣體分配柜VMB)，“控制”指監(jiān)督控制部分(氣體管理系統(tǒng)GMS)。

高純氣體管道的設(shè)計(jì)要點(diǎn)：1.對(duì)于不同特性的氣體，要規(guī)劃單獨(dú)的供應(yīng)區(qū)域，一般分為三個(gè)區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。2.管道設(shè)計(jì)需要考慮輸送的距離，距離越長(zhǎng)，成本越高，風(fēng)險(xiǎn)也越高，通常較合理的設(shè)計(jì)流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量設(shè)計(jì)方面，則需要考慮使用點(diǎn)的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關(guān)，后者使用點(diǎn)的管徑一般為1/4”～3/8”。實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)安全可靠，為科研創(chuàng)新提供無(wú)憂保障。

在集成電路芯片制造中，大宗特氣系統(tǒng)的復(fù)雜性與代表性尤為突出。由于制程節(jié)點(diǎn)不斷微縮，工藝步驟繁多，所需氣體種類涵蓋氮?dú)狻錃?、氧氣、氬氣以及特種氣體如硅烷、氨氣、六氟化鎢等數(shù)十種。這些氣體不僅用量巨大，其純度通常需達(dá)到99.999%乃至更高，任何細(xì)微污染都可能導(dǎo)致整批晶圓失效。因此，大宗特氣系統(tǒng)通過(guò)集成純化裝置、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與自動(dòng)切換功能，構(gòu)建起一套全天候、高穩(wěn)定的供應(yīng)鏈，成為芯片廠不可或缺的基礎(chǔ)設(shè)施。大宗特氣系統(tǒng)的技術(shù)基礎(chǔ)源于大型氣柜存儲(chǔ)與分配技術(shù)的升級(jí)為光纖預(yù)制棒及拉絲工藝提供穩(wěn)定、無(wú)污染的高純氣體和特種氣體供應(yīng)。吉林實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)價(jià)格

面對(duì)復(fù)雜的供氣挑戰(zhàn)，我們總能提供清晰高效的解決路徑。遼寧高純氣體管道系統(tǒng)公司

尾氣處理系統(tǒng)：半導(dǎo)體工藝廢氣處理方式依據(jù)廢氣處理的特性,在處理可分為四種處理方式:1、水洗式(處理腐蝕性氣體)2、氧化式(處理燃燒性,毒性氣體3、吸附式(干式)(依照吸附材種類處理對(duì)應(yīng)之廢氣）4、等離子燃燒式(各類型廢氣皆可處理)Scrubber尾氣處理裝置可處理的氣體種類包括半導(dǎo)體、液晶以及太陽(yáng)能等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中使用的特氣，主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。遼寧高純氣體管道系統(tǒng)公司

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